Verantwoording onderzoek ASML-export naar China

In dit artikel:

Nieuwsuur onderzocht welke ASML-producten in 2024 naar Chinese bedrijven en onderzoeksinstituten zijn gegaan, op basis van vertrouwelijke informatie aangevuld met openbare bronnen en databanken van gespecialiseerde bedrijven. Voor dit artikel konden vijf Chinese klanten en de bijbehorende goederencodes worden vastgesteld. ASML en het ministerie van Buitenlandse Zaken hebben hun reacties opgenomen; de vijf genoemde Chinese partijen reageerden niet op vragen van Nieuwsuur.

Onderzoeksopzet
- De redactie gebruikte een mix van bronnen: vertrouwelijke documenten, openbare bedrijfsinformatie, nieuwsberichten, gesprekken met experts (chipmachinetechnici, geopolitieke analisten, juristen en ambtenaren) en materiaal van China-specialisten van NOS/Nieuwsuur en een Amerikaanse correspondent.
- Voor gedetailleerde bedrijfsprofielen en eigendomsstructuren is gebruikgemaakt van commerciële databases zoals Wirescreen (VS) en Datenna (NL), plus data van Sayari. Deze diensten worden door overheden en grote media gebruikt om Chinese entiteiten te beoordelen.

De vijf klanten (kort)
1. GTA Semiconductor (Shanghai) — Een chipfabrikant waarvan de grootste aandeelhouder Huada Semiconductor is, onderdeel van de China Electronics Corporation (CEC). CEC is een groot staatsconcern met civiele en militaire activiteiten en staat op Amerikaanse sanctielijsten. De voorzitter van GTA, Sun Jie, heeft connecties met CEC en een verleden bij een militair onderzoeksinstituut, waardoor Wirescreen hem als gelieerd aan de krijgsmacht classificeert.
2. 24e Onderzoeksinstituut van CETC — Behoort tot de China Electronics Technology Group Corporation (CETC), een belangrijk Chinees defensiebedrijf. Het instituut huisvest volgens eigen informatie een nationaal laboratorium voor militaire computerchips.
3. Si En (Qingdao) — Staatsbedrijf in de chipproductie dat in 2023 werd genoemd als partij betrokken bij een productielijn voor Huawei; de VS plaatste Si En eind 2023 op de Entity List wegens vermeende bijdrage aan Chinese militaire capaciteit.
4. Semiconductor Manufacturing Beijing Corporation (SMBC) — Valend onder SMIC, China’s grootste chipproducent. SMIC staat op Amerikaanse sanctielijsten vanwege militaire-civiele verwevenheid en wordt in verband gebracht met productie voor de krijgsmacht.
5. Shenzhen International Quantum Academy — Onderdeel van het Shenzhen Institute for Quantum Science and Engineering; in Wirescreen-importdata staat dat dit instituut op 5 februari 2024 een “Deep UV lithografie machine” van ASML heeft ontvangen. Het instituut doet onderzoek naar onder meer quantum sensing, een technologie waar de Nederlandse inlichtingendienst MIVD expliciet waarschuwt voor Chinese interesse in militaire toepassingen.

Classificaties en sancties
- Volgens Wirescreen zijn alle vijf entiteiten gelinkt aan China’s defensie-industrie; Wirescreen rekent bedrijven op Amerikaanse sanctielijsten ook tot ‘militair’. Twee van de vijf (24e instituut van CETC en Si En) staan expliciet op Amerikaanse sanctielijsten; bij vier klanten geldt dat de moederbedrijven op sanctielijsten staan.
- In Datenna is alleen het 24e Onderzoeksinstituut als “militair” gemarkeerd; sommige andere partijen zijn gemarkeerd vanwege ontwikkeling van “kritische technologie”.

Exportregels en de discussie over onderdelen
- Europese en Nederlandse regels vereisen exportvergunningen voor dual-use goederen die op Annex I van de EU Dual-Use Verordening staan. Nederland heeft daar bovenop extra beperkingen gezet voor zeer geavanceerde chipmachines (vooral EUV en immersie-DUV) en ook voor specifieke reserveonderdelen daarvan. Voor die categorieën is vooraf toestemming van Buitenlandse Zaken nodig.
- De goederencodes van de door Nieuwsuur geanalyseerde leveringen duiden op dual-use onderdelen, maar naar oordeel van het ministerie vallen die specifieke onderdelen niet onder de Nederlandse of Europese restricties. Dat betekent formeel dat er geen exportvergunning nodig was; volgens het ministerie zijn niet alle onderdelen cruciaal of strategisch en sommige zijn gemakkelijk te verkrijgen, waardoor ze niet gecontroleerd worden.
- Vier externe experts (van TU Delft en TU Eindhoven) betwijfelen deze opvatting en stellen dat de geleverde onderdelen wel degelijk essentieel zijn voor de werking van een chipmachine, waardoor het ontbreken van controle problematisch kan zijn.

Juridische nuance en eindgebruik
- Artikel 4 van de EU Dual-Use Verordening biedt landen de mogelijkheid toch toezicht te houden op producten die niet op de lijst staan, als bekend is dat de goederen zullen worden gebruikt voor massavernietigingswapens of hun vectoren. Ook moeten exporteurs meldingen doen bij militair eindgebruik als er een formeel wapenembargo geldt. Nederland licht toe dat het EU-wapenembargo op China een politieke verklaring is en niet voldoet om automatisch extra verplichtingen uit de Dual-Use Verordening te activeren.

Onzekerheden rond de DUV-machine
- Voor de gemelde Deep UV-machine geleverd aan het Shenzhen-instituut is niet vastgesteld om welk type het precies ging of of daar een vergunning voor nodig was. Noch ASML noch Buitenlandse Zaken geven uitspraken over individuele leveringen. Op dezelfde dag als die levering beantwoorde de toenmalige minister van Handel (Geoffrey van Leeuwen) Kamervragen over exportregels en meldde hij dat enkele vergunningen voor geavanceerde apparatuur naar China waren verleend; het is onduidelijk of de DUV-machine daaronder viel.

Breed politiek en veiligheidskader
- De leveringen vallen tegen de achtergrond van westerse zorgen dat geavanceerde technologie de Chinese militaire capaciteiten kan versterken. Nederlandse veiligheidsdiensten AIVD en MIVD waarschuwen dat China een belangrijke bedreiging vormt voor economische en kennisveiligheid en wijzen op militaire samenwerking met onder meer Rusland.

Kortom: Nieuwsuur reconstrueerde met behulp van vertrouwelijke bronnen en gespecialiseerde databanken vijf Chinese ontvangers van ASML-machinedelen en een DUV-installatie in 2024, waarbij meerdere ontvangers banden met de Chinese defensie-industrie hebben of door de VS gesanctioneerd zijn. Juridisch blijken de geleverde onderdelen volgens het ministerie niet onder de bestaande exportrestricties te vallen, maar deskundigen betwijfelen of die afweging technisch en veiligheidsgewijs houdbaar is.