ASML: ook TSMC en Samsung kiezen voor High-NA-machines

In dit artikel:

TSMC en Samsung gaan de nieuwste en duurste chipmachines van ASML gebruiken. Daarmee sluiten de twee grootste chipfabrikanten zich aan bij Intel, dat High-NA-EUV al inzet in serieproductie. ASML maakte de afspraken dinsdag bekend.

High-NA-EUV maakt dankzij een grotere numerieke apertuur kleinere chipstructuren mogelijk. Een machine kost ongeveer 400 miljoen dollar en ASML is wereldwijd de enige leverancier. Samsung wil de technologie vanaf 2028 inzetten voor DRAM-geheugenchips; TSMC mikt op 2030 voor zijn meest geavanceerde productieprocessen. De sterke vraag naar chips voor kunstmatige intelligentie maakt zulke investeringen volgens de bedrijven rendabel.

ASML, TSMC en Samsung werken daarnaast aan fotomaskers van twaalf inch, tegenover de huidige standaard van zes inch. Dat kan de productiecapaciteit met maximaal 40 procent verhogen, al worden deze maskers voor geavanceerde chips pas rond 2033 verwacht. Wanneer de nieuwe machines bij TSMC en Samsung worden geïnstalleerd, is nog niet bekend. Tot die tijd blijft Intel de enige fabrikant die High-NA in serieproductie gebruikt. De technologie heeft bovendien grote geopolitieke betekenis, omdat ASML op dit terrein geen echte concurrent heeft en chipapparatuur onderhevig is aan internationale exportbeperkingen.